產(chǎn)品簡介
低溫恒溫循環(huán)器常應(yīng)用于對半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻:單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。并且對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻:激光加工、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機(jī)等起到很大作用。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● *新自主研發(fā)的溫控技術(shù)，配有高標(biāo)準(zhǔn)的PT100及全進(jìn)口的電子元件。
● 軟件系統(tǒng)可修正顯示溫度與實(shí)際溫度的誤差，使顯示溫度值準(zhǔn)確無誤。
● 標(biāo)配大屏幕液晶顯示，多項(xiàng)數(shù)據(jù)一覽無余，溫度顯示分辨率**達(dá)0.01℃。
● 具有超溫保護(hù)、超溫鳴叫報(bào)警，可設(shè)定超溫報(bào)警溫度，超溫時(shí)可自動切斷負(fù)載。
● 具有定時(shí)功能，可設(shè)定設(shè)備工作總時(shí)長，到時(shí)自動切斷負(fù)載。
● 隱藏式冷卻盤管設(shè)計(jì)，確保更大的槽內(nèi)使用空間。
● 智能軟件溫度穩(wěn)定性強(qiáng)，PID可自動根據(jù)不同的介質(zhì)自動整定**參數(shù)，特殊用戶還可人工重新調(diào)整參數(shù)。
● 使用軟件數(shù)字鎖定控制系統(tǒng)各項(xiàng)設(shè)置值，避免無關(guān)人員進(jìn)行誤操作，保證實(shí)驗(yàn)過程數(shù)據(jù)正確無誤。
● 高效全封閉壓縮機(jī)制冷，降溫速度快，具有過熱過電流等多重保護(hù)。
● 標(biāo)配內(nèi)外循環(huán)功能，外循環(huán)進(jìn)出口外徑12mm圓管，滿足用戶多場景不同需求。
●外循環(huán)泵輸出13升/分在流量高、低溫液體。
可選配件
液位保護(hù)系統(tǒng)---超過限制液位，強(qiáng)制停止負(fù)載，為用戶的實(shí)驗(yàn)保駕護(hù)航。
RS485通訊接口--連接電腦等上位機(jī)，由上位機(jī)軟件控制設(shè)備以及查看數(shù)據(jù)。
多點(diǎn)修正功能--可同時(shí)修正多個(gè)溫度點(diǎn)，避免傳感器的線性誤差導(dǎo)致的溫度差異。
外置PT100--可實(shí)現(xiàn)外循環(huán)的精準(zhǔn)控溫。
